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  • 外延片PL譜掃描成像儀 首頁 > 晶片/外延片/襯底片測量設備

    外延片PL譜掃描成像儀系我公司在國家高技術研究發展計劃(“863”計劃)的支持下,與清華大學合作研制的產品。本成像儀可在線快速檢測外延片的PL數據,生成高分辨率的Mapping圖,并具有膜厚和反射率測量功能,可為外延片生產工藝控制提供可靠的數據。

     

    目前該設備包括IM-1100、IM-2000、IM-3000三個系列。

    IM-1100系列:移動機柜手動型PL譜儀

    IM-2000系列:傾斜料倉2、4寸自動型PL譜儀

    IM-3000系列:雙臂機械手型PL譜儀

     

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