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    PSS襯底片反射率測量及分類機系我公司與清華大學合作研制的專利產品。該設備可在線快速檢測PSS襯底片刻蝕前和刻蝕后的反射率(PR)數據,生成高分辨率的Mapping圖,可為襯底片刻蝕工藝控制提供可靠的數據。

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